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在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。 Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
亮点 · 测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV 1/10亿) · 测量稳定，重复性好 · 高度集成的采样装置 · 模拟和数字输出 · 安装简便 · VCR 过程接口 · 设计紧凑小巧 · 显示/报警单元可选 |
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技术指标 |
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高纯气露点变送器